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| 关键词 |
PECVD（2）
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| 出版物 |
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES（2）
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| 出版时间 | |
| 机构 | |
| 作者 |
CHEN XY（2）
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ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
MA YF, JIANG W, HAN JM, TONG ZM, WANG M, SUHR J, CHEN XY, XIAO LT, JIA ST, CHAE H
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
HAN JM, MA YF, WANG M, LI LH, TONG ZM, XIAO LT, JIA ST, CHEN XY