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出版物
出版时间 2015(2)
机构
作者 CHU YH(2)

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

SUN MC, LIANG JB, PENG WQ, WANG ZM, NEGISHI N, KOIKE K, CHU YH, YIN HQ

RSC ADVANCES

CEN WL, HOU ML, LIU J, YUAN SD, LIU YJ, CHU YH