国家/地区 Usa(2)
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机构
作者 GARG A(2)

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

REZAEIFAR F, LIN QF, CHEN XY, MATTOX TM, GARG A, CLOUGH A, POUDEL N, BLANKEMEIER L, SARKAR D, CRONIN SB, KAPADIA R