| 国家/地区 |
Japan（2）
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| 关键词 |
CHEMICAL SPUTTERING（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | 2008（2） |
| 机构 | |
| 作者 |
ITO A（2）
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JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN
ITO A, NAKAMURA H, TAKAYAMA A
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
ITO A, NAKAMURA H