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关键词 ATOMIC LAYER DEPOSITION(2)
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机构
作者 LEE K(2)

APPLIED SURFACE SCIENCE

LEE SM, PARK YJ, LAM DV, KIM JH, LEE K

APPLIED PHYSICS LETTERS

FALLAHAZAD B, LEE K, LIAN G, KIM S, CORBET CM, FERRER DA, COLOMBO L, TUTUC E