国家/地区 Korea(2)
关键词 ATOMIC LAYER DEPOSITION(2)
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机构
作者 LEE SM(2)

APPLIED SURFACE SCIENCE

LEE SM, PARK YJ, LAM DV, KIM JH, LEE K

INTERNATIONAL JOURNAL OF THERMAL SCIENCES

KIM D, KIM W, LEE SM, LUO TF, MOON C, KIM JH, LEE HJ, PARK J, LEE JH