国家/地区 | Korea(2) |
关键词 | ATOMIC LAYER DEPOSITION(2) |
出版物 | |
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机构 | |
作者 | LEE SM(2) |
APPLIED SURFACE SCIENCE
LEE SM, PARK YJ, LAM DV, KIM JH, LEE K
INTERNATIONAL JOURNAL OF THERMAL SCIENCES
KIM D, KIM W, LEE SM, LUO TF, MOON C, KIM JH, LEE HJ, PARK J, LEE JH