| 国家/地区 |
Usa（2）
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| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2016（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
LIU SY（2）
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
LIU SY, KIM MJ, KIM HK
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
CHANG JK, HSU CC, LIU SY, WU CI, GHARIB M, YEH NC