| 国家/地区 | China（2） |
| 关键词 |
CDS（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | 2013（2） |
| 机构 | CHINESE ACAD.（2） |
| 作者 |
MENG XH（2）
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MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
LIU FZ, SHAO X, WANG JQ, YANG SR, MENG XH, LIU XH, WANG M
JOURNAL OF ALLOYS COMPOUNDS
LIU FZ, SHAO X, WANG JQ, YANG SR, LI HY, MENG XH, LIU XH, WANG M