国家/地区 Korea(3)
关键词 FTIR(4)
出版物
出版时间 2017(2)
机构 HANSEO UNIV(2) SUZHOU UNIV .(2)
作者 MENG ZD(4)

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

MENG ZD, ULLAH K, ZHU L, YE S, OH WC

JOURNAL OF INDUSTRIAL ENGINEERING CHEMISTRY

ZHU L, JO SB, YE S, ULLAH K, MENG ZD, OH WC