| 国家/地区 | Japan（2） |
| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2013（2）
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| 机构 |
UNIV ELECTROCOMMUN UEC TOKYO（2）
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| 作者 |
NAKAMURA J（2）
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APPLIED PHYSICS LETTERS
YOKOMIZO Y, NAKAMURA J
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
TOMITA H, NAKAMURA J