国家/地区 Japan（2）
关键词 MEMS（2）
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机构 TOHOKU UNIV（2）
作者 ONO T（2）

Metal-assisted-chemical-etching of silicon nanowires for templating 3D graphene growth towards energy storage in microsystems

JOURNAL OF MICROMECHANICS MICROENGINEERING

LI JH, TOAN NV, WANG ZQ, ONO T

Constructing in-chip micro-supercapacitors of 3D graphene nanowall/ruthenium oxides electrode through silicon-based microfabrication technique

JOURNAL OF POWER SOURCES

LI JH, ZHU MJ, AN ZL, WANG ZQ, TODA M, ONO T