国家/地区 | Korea(2) |
关键词 | |
出版物 | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2) |
出版时间 | 2014(2) |
机构 | |
作者 | PARK H(2) |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
OH S, PARK H, JUNG Y, KIM J, KIM J, OH MS
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
PARK SJ, PARK H, LEE Y, YI Y, KANG SJ