| 国家/地区 | China（2） |
| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2019（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
PENG TJ（2）
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JOM
LIU B, SUN HJ, PENG TJ, ZHAO XL
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
LUO LM, YUAN ML, SUN HJ, PENG TJ, XIE TF, CHEN QC, CHEN JG