| 国家/地区 | Japan(2) |
| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 | 2010(2) |
| 机构 |
JAPAN SCI TECHNOL AGCY(2)
|
| 作者 |
SASAKI M(2)
|
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
FUJITA J, MIYAZAWA Y, UEKI R, SASAKI M, SAITO T
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
FUJITA J, MIYAZAWA Y, UEKI R, SASAKI M, SAITO T
