国家/地区 | Japan(2) |
关键词 | |
出版物 | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2) |
出版时间 | |
机构 | |
作者 | SASAKI M(2) |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
MURAKAMI K, TANAKA S, IIJIMA T, NAGAO M, NEMOTO Y, TAKEGUCHI M, YAMADA Y, SASAKI M
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
FUJITA J, MIYAZAWA Y, UEKI R, SASAKI M, SAITO T