国家/地区 Japan(2)
关键词
出版物 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2)
出版时间
机构
作者 SASAKI M(2)

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

MURAKAMI K, TANAKA S, IIJIMA T, NAGAO M, NEMOTO Y, TAKEGUCHI M, YAMADA Y, SASAKI M