| 国家/地区 | Korea（2） |
| 关键词 |
ATOMIC FORCE MICROSCOPY LITHOGRAPHY（2）
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SON YW（2）
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NPG ASIA MATERIALS
BYUN IS, KIM W, BOUKHVALOV DW, HWANG I, SON JW, OH G, CHOI JS, YOON D, CHEONG H, BAIK J, SHIN HJ, SHIU HW, CHEN CH, SON YW, PARK BH
JOURNAL OF PHYSICS DAPPLIED PHYSICS
BYUN IS, BOUKHVALOV DW, LEE S, KIM WD, BAIK J, SHIN HJ, LEE C, SON YW, JIA QX, PARK BH