| 国家/地区 | Japan(2) |
| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2010(2)
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| 机构 | JAPAN SCI T.(2) |
| 作者 |
UEKI R(2)
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
FUJITA J, MIYAZAWA Y, UEKI R, SASAKI M, SAITO T
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
FUJITA J, MIYAZAWA Y, UEKI R, SASAKI M, SAITO T
