国家/地区 |
Japan(2)![]() |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 |
2019(2)![]() |
机构 | TOHOKU UNIV(2) |
作者 |
WANG ZQ(2)![]() |
MICROSYSTEMS NANOENGINEERING
AN ZL, LI JH, KIKUCHI A, WANG ZQ, JIANG YG, ONO T
JOURNAL OF MICROMECHANICS MICROENGINEERING
LI JH, TOAN NV, WANG ZQ, ONO T