| 国家/地区 | China（3） |
| 关键词 | CHEMICAL VAPOR DEPO.（2） |
| 出版物 | |
| 出版时间 | 2023（2） |
| 机构 | |
| 作者 |
YIN MQ（3）
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MICROMACHINES
XIAO BB, YIN MQ, LI WF, LIANG LY, DAI SX, ZHANG XH, WANG W, LIU ZP
NANOTECHNOLOGY
YIN MQ, WU LQ, CHEN H, ZHANG XH, WANG W, LIU ZP
MATERIALS
GUO ZC, YE ZY, YIN MQ, DAI SX, ZHANG XH, WANG W, LIU ZP