国家/地区
关键词 ALD(2)
出版物
出版时间 2018(2)
机构
作者

APPLIED SURFACE SCIENCE

JUSTH N, BERKE B, LASZLO K, BAKOS LP, SZABO A, HERNADI K, SZILAGYI IM

JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS

AHLBERG P, HINNEMO M, ZHANG SL, OLSSON J