| 国家/地区 | |
| 关键词 |
ALD(3)
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2021(3)
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| 机构 | |
| 作者 |
CARBON
SO S, KIM JY, KIM D, LEE JH
ADVANCED MATERIALS TECHNOLOGIES
CANTO B, OTTO M, POWELL MJ, BABENKO V, O MAHONY A, KNOOPS HCM, SUNDARAM RS, HOFMANN S, LEMME MC, NEUMAIER D
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
KHEIRANDISH E, KOUKLIN N
