国家/地区 | China(3) |
关键词 | ATOMIC LAYER DEPOSITION(3) |
出版物 | |
出版时间 | 2014(3) |
机构 | |
作者 |
NANOTECHNOLOGY
CHEN CY, CHEN CQ, HUANG PP, DUAN FF, ZHAO SC, LI P, FAN JC, SONG WG, QIN Y
JOURNAL OF PHYSICS DAPPLIED PHYSICS
ZHANG YW, QIU ZJ, CHENG XH, XIE H, WANG HM, XIE XM, YU YH, LIU R
APPLIED SURFACE SCIENCE
CAO YQ, CAO ZY, LI X, WU D, LI AD