国家/地区 China(3)
关键词 ATOMIC LAYER DEPOSITION(3)
出版物
出版时间 2014(3)
机构
作者

NANOTECHNOLOGY

CHEN CY, CHEN CQ, HUANG PP, DUAN FF, ZHAO SC, LI P, FAN JC, SONG WG, QIN Y

JOURNAL OF PHYSICS DAPPLIED PHYSICS

ZHANG YW, QIU ZJ, CHENG XH, XIE H, WANG HM, XIE XM, YU YH, LIU R