| 国家/地区 |
Taiwan（2）
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| 关键词 |
ATOMIC LAYER DEPOSITION（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 | |
| 作者 |
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES
CHANG KP, WANG JC, TAI HH, YEH WK, LI KS, LAI CS
INTERNATIONAL JOURNAL OF HYDROGEN ENERGY
HSIEH CT, CHEN WY, TZOU DY, ROY AK, HSIAO HT