国家/地区
关键词 ATOMIC LAYER DEPOSITION（2）
出版物 APPLIED SURFACE SCIENCE（2）
出版时间 2014（2）
机构
作者

Scaling of HfO2 dielectric on CVD graphene

APPLIED SURFACE SCIENCE

MCDONNELL S, AZCATL A, MORDI G, FLORESCA C, PIRKLE A, COLOMBO L, KIM J, KIM M, WALLACE RM

A facile way to deposit conformal Al2O3 thin film on pristine graphene by atomic layer deposition

APPLIED SURFACE SCIENCE

CAO YQ, CAO ZY, LI X, WU D, LI AD