国家/地区 | Usa(2) |
关键词 | ATOMIC LAYER DEPOSITION(2) |
出版物 | APPLIED PHYSICS LETTERS(2) |
出版时间 | 2010(2) |
机构 | |
作者 |
APPLIED PHYSICS LETTERS
LEE B, MORDI G, KIM MJ, CHABAL YJ, VOGEL EM, WALLACE RM, CHO KJ, COLOMBO L, KIM J
APPLIED PHYSICS LETTERS
FARMER DB, LIN YM, AVOURIS P