国家/地区 | China(2) |
关键词 | CHEMICAL VAPOR DEPOSITION(2) |
出版物 | |
出版时间 | 2023(2) |
机构 | |
作者 | LIU ZP(2) |
MICROMACHINES
XIAO BB, YIN MQ, LI WF, LIANG LY, DAI SX, ZHANG XH, WANG W, LIU ZP
MATERIALS
GUO ZC, YE ZY, YIN MQ, DAI SX, ZHANG XH, WANG W, LIU ZP
国家/地区 | China(2) |
关键词 | CHEMICAL VAPOR DEPOSITION(2) |
出版物 | |
出版时间 | 2023(2) |
机构 | |
作者 | LIU ZP(2) |
MICROMACHINES
XIAO BB, YIN MQ, LI WF, LIANG LY, DAI SX, ZHANG XH, WANG W, LIU ZP
MATERIALS
GUO ZC, YE ZY, YIN MQ, DAI SX, ZHANG XH, WANG W, LIU ZP