国家/地区 China(2)
关键词 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION(2)
出版物
出版时间 2023(2)
机构
作者 YIN MQ(2)

MICROMACHINES

XIAO BB, YIN MQ, LI WF, LIANG LY, DAI SX, ZHANG XH, WANG W, LIU ZP