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| 关键词 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION CVD（2）
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| 出版物 |
MICROMACHINES（2）
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| 作者 |
MICROMACHINES
VERNA A, MARASSO SL, RIVOLO P, PARMEGGIANI M, LAURENTI M, COCUZZA M
MICROMACHINES
CHO JH, CAYLL D, BEHERA D, CULLINAN M