国家/地区 | |
关键词 | CVD(2) |
出版物 | JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS(2) |
出版时间 | 2016(2) |
机构 | |
作者 |
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
TANG CM, CHEN ZY, ZHANG HR, ZHANG YQ, ZHANG YH, SUI YP, YU GH, CAO YJ
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
NANG LV, DUY NV, HOA ND, HIEU NV