国家/地区
关键词 CVD(2)
出版物 JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS(2)
出版时间 2016(2)
机构
作者

JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS

TANG CM, CHEN ZY, ZHANG HR, ZHANG YQ, ZHANG YH, SUI YP, YU GH, CAO YJ

JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS

NANG LV, DUY NV, HOA ND, HIEU NV