国家/地区 China(2)
关键词 ETCHING(3)
出版物
出版时间 2017(3)
机构
作者

ELECTRONICS LETTERS

ZENG RZ, LI P, LI JH, LIAO YB, ZHANG QW, WANG G

PHYSICA STATUS SOLIDI AAPPLICATIONS MATERIALS SCIENCE

OBERHUBER F, BLIEN S, SCHUPP F, WEISS D, EROMS J