| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
MEMS（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2015（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
JOURNAL OF MICROMECHANICS MICROENGINEERING
LI P, CUI TH
SENSORS
WANG JF, BIAN C, TONG JH, SUN JZ, LI Y, HONG W, XIA SH