国家/地区
关键词 MEMS(2)
出版物
出版时间 2017(2)
机构
作者

NANO LETTERS

WAGNER S, DIEING T, CENTENO A, ZURUTUZA A, SMITH AD, OSTLING M, KATARIA S, LEMME MC

JOURNAL OF PHYSICS DAPPLIED PHYSICS

KHAN ZH, KERMANY AR, OCHSNER A, IACOPI F