| 国家/地区 | Netherlands（2） |
| 关键词 |
MEMS（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 |
DELFT UNIV TECHNOL（2）
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| 作者 |
SENSORS ACTUATORS APHYSICAL
GKOUZOU A, JANSSEN GCAM, VAN SPENGEN WM
NANO LETTERS
DOLLEMAN RJ, DAVIDOVIKJ D, CARTAMILBUENO SJ, VAN DER ZANT HSJ, STEENEKEN PG