国家/地区
关键词 MEMS(2)
出版物 JOURNAL OF PHYSICS DAPPLIED PHYSICS(2)
出版时间
机构
作者

JOURNAL OF PHYSICS DAPPLIED PHYSICS

LIANG J, LIU BH, ZHANG HX, ZHANG H, ZHANG ML, ZHANG DH, PANG W

JOURNAL OF PHYSICS DAPPLIED PHYSICS

KHAN ZH, KERMANY AR, OCHSNER A, IACOPI F