国家/地区 | Usa(2) |
关键词 |
MICROACTUATOR(2)![]() |
出版物 | JOURNAL OF MICROELE.(2) |
出版时间 | |
机构 | |
作者 |
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
GUND V, RUYACK A, ARDANUC S, LAL A
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
ROKNI H, LU W
国家/地区 | Usa(2) |
关键词 |
MICROACTUATOR(2)![]() |
出版物 | JOURNAL OF MICROELE.(2) |
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机构 | |
作者 |
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
GUND V, RUYACK A, ARDANUC S, LAL A
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
ROKNI H, LU W