国家/地区 |
China(2)![]() |
关键词 |
NANOCOMPOSITE FILM(2)![]() |
出版物 | |
出版时间 |
2015(2)![]() |
机构 | |
作者 |
APPLIED SURFACE SCIENCE
ZHU YJ, WANG HY, ZHU JH, CHANG L, YE L
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
HE HY