| 国家/地区 | Usa（2） |
| 关键词 |
NANOELECTROMECHANICAL SYSTEMS NEMS（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | 2018（2） |
| 机构 | |
| 作者 |
FENG PXL（2）
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MICROMACHINES
MEI TD, LEE JS, XU YH, FENG PXL
NANO LETTERS
YE F, LEE J, FENG PXL