国家/地区 | |
关键词 | NANOELECTROMECHANICAL SYSTEMS NEMS(4) |
出版物 | NANO LETTERS(2) |
出版时间 | 2016(4) |
机构 | |
作者 |
MICROMACHINES
TAKAMURA M, OKAMOTO H, FURUKAWA K, YAMAGUCHI H, HIBINO H
MICROELECTRONIC ENGINEERING
WAGNER S, WEISENSTEIN C, SMITH AD, OSTLING M, KATARIA S, LEMME MC
NANO LETTERS
DOLLEMAN RJ, DAVIDOVIKJ D, CARTAMILBUENO SJ, VAN DER ZANT HSJ, STEENEKEN PG
NANO LETTERS
BUDRIKIS Z, ZAPPERI S