国家/地区
关键词 NANOELECTROMECHANICAL SYSTEMS NEMS(4)
出版物 NANO LETTERS(2)
出版时间 2016(4)
机构
作者

MICROMACHINES

TAKAMURA M, OKAMOTO H, FURUKAWA K, YAMAGUCHI H, HIBINO H

MICROELECTRONIC ENGINEERING

WAGNER S, WEISENSTEIN C, SMITH AD, OSTLING M, KATARIA S, LEMME MC

NANO LETTERS

DOLLEMAN RJ, DAVIDOVIKJ D, CARTAMILBUENO SJ, VAN DER ZANT HSJ, STEENEKEN PG