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NANOELECTROMECHANICAL SYSTEMS NEMS（2）
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| 出版物 |
MICROMACHINES（2）
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| 作者 |
MICROMACHINES
MEI TD, LEE JS, XU YH, FENG PXL
MICROMACHINES
TAKAMURA M, OKAMOTO H, FURUKAWA K, YAMAGUCHI H, HIBINO H