| 国家/地区 | England（2） |
| 关键词 |
NANOFABRICATION（2）
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| 作者 |
MIZUTA H（2）
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MICROELECTRONIC ENGINEERING
KALHOR N, BODEN SA, MIZUTA H
MICROMACHINES
SUN J, MURUGANATHAN M, KANETAKE N, MIZUTA H