国家/地区 | England(3) |
关键词 | NANOFABRICATION(3) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | |
作者 | MIZUTA H(2) |
MICROELECTRONIC ENGINEERING
KALHOR N, BODEN SA, MIZUTA H
ACS NANO
SCHAFFEL F, WILSON M, BACHMATIUK A, RUMMELI MH, QUEITSCH U, RELLINGHAUS B, BRIGGS GAD, WARNER JH
MICROMACHINES
SUN J, MURUGANATHAN M, KANETAKE N, MIZUTA H