国家/地区 | Japan(3) |
关键词 | NANOFABRICATION(3) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | UNIV TOKYO(2) |
作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
MATSUOKA Y, CLARK IT, YOSHIMURA M
APPLIED PHYSICS LETTERS
MASUBUCHI S, ONO M, YOSHIDA K, HIRAKAWA K, MACHIDA T
MICRO NANO LETTERS
MATSUI K, TAKEI Y, INABA A, TAKAHATA T, MATSUMOTO K, SHIMOYAMA I