| 国家/地区 |
Japan(3)
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| 关键词 |
NANOFABRICATION(3)
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| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 | UNIV TOKYO(2) |
| 作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
MATSUOKA Y, CLARK IT, YOSHIMURA M
APPLIED PHYSICS LETTERS
MASUBUCHI S, ONO M, YOSHIDA K, HIRAKAWA K, MACHIDA T
MICRO NANO LETTERS
MATSUI K, TAKEI Y, INABA A, TAKAHATA T, MATSUMOTO K, SHIMOYAMA I
