国家/地区 Japan(3)
关键词 NANOFABRICATION(3)
出版物
出版时间
机构 UNIV TOKYO(2)
作者

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

MATSUOKA Y, CLARK IT, YOSHIMURA M

APPLIED PHYSICS LETTERS

MASUBUCHI S, ONO M, YOSHIDA K, HIRAKAWA K, MACHIDA T

MICRO NANO LETTERS

MATSUI K, TAKEI Y, INABA A, TAKAHATA T, MATSUMOTO K, SHIMOYAMA I