| 国家/地区 | China（2） |
| 关键词 |
OXYGEN PLASMA（3）
|
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2018（3）
|
| 机构 | |
| 作者 |
JOURNAL OF MICROMECHANICS MICROENGINEERING
LI SS, ZENG MX, HUANG YF, ZHAN RZ, CHEN J, XU NS, SHE JC, DENG SZ
NANOTECHNOLOGY
CHU LY, KOROBKO AV, BUS M, BOSHUIZEN B, SUDHOLTER EJR, BESSELING NAM
APPLIED SURFACE SCIENCE
ZHU J, DENG HJ, XUE W, WANG Q