| 国家/地区 | |
| 关键词 |
OXYGEN PLASMA（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2020（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
ACS APPLIED ELECTRONIC MATERIALS
NALAMATI S, DEVKOTA S, LI J, LAVELLE R, HUET B, SNYDER D, PENN A, GARCIA R, REYNOLDS L, IYER S
INFOMAT
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