国家/地区 Japan(3)
关键词 PATTERNING(3)
出版物
出版时间 2015(2)
机构
作者

MICROELECTRONIC ENGINEERING

KATO M, NISHIMURA M, UKI K, HARAKO S, ZHAO XW

ADVANCED MATERIALS INTERFACES

CHAUHAN N, PALANINATHAN V, RAVEENDRAN S, POULOSE AC, NAKAJIMA Y, HASUMURA T, UCHIDA T, HANAJIRI T, MAEKAWA T, KUMAR DS