| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
PECVD（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 |
JILIN UNIV（2）
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| 作者 |
WANG X（2）
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CHINESE SCIENCE BULLETIN
QI JL, ZHANG LX, CAO J, ZHENG WT, WANG X, FENG JC
APPLIED SURFACE SCIENCE
QI JL, ZHENG WT, ZHENG XH, WANG X, TIAN HW