| 国家/地区 | China（2） |
| 关键词 |
PECVD（2）
|
| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 | |
| 作者 |
XU K（2）
|
MATERIALS RESEARCH EXPRESS
LUO AL, XU Y, ZHOU H, YUAN ZH, CAO B, WANG CH, XU K
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
XU LY, XU Y, LUO AL, ZHOU H, CAO B, WANG CH, XU K