| 国家/地区 | China（3） |
| 关键词 |
PECVD（3）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 | JILIN UNIV（2） |
| 作者 |
ZHENG WT（3）
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CHINESE SCIENCE BULLETIN
QI JL, ZHANG LX, CAO J, ZHENG WT, WANG X, FENG JC
APPLIED SURFACE SCIENCE
QI JL, ZHENG WT, ZHENG XH, WANG X, TIAN HW
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