| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
PECVD（2）
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| 出版物 | |
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| 机构 | |
| 作者 |
CAO J（2）
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MATERIALS RESEARCH EXPRESS
QI JL, ZHANG F, ZHANG LX, CAO J, FENG JC
CHINESE SCIENCE BULLETIN
QI JL, ZHANG LX, CAO J, ZHENG WT, WANG X, FENG JC