国家/地区 China(3)
关键词 PECVD(3)
出版物
出版时间
机构 JILIN UNIV(2)
作者 QI JL(3)

MATERIALS RESEARCH EXPRESS

QI JL, ZHANG F, ZHANG LX, CAO J, FENG JC

CHINESE SCIENCE BULLETIN

QI JL, ZHANG LX, CAO J, ZHENG WT, WANG X, FENG JC